工業油霧凈化器在使用過程中，收集極板上會產生污漬堆積，使高壓電場負載加大而產生高壓拉弧，凈化效果變差甚至完全喪失凈化功能。所以，定期檢查和清洗是非常重要的維護工作。
1.工業油霧凈化器的定期檢查
1)檢查前置、后置過濾網有無機械損傷或破損，以及被污染物堵塞情況。
2)檢查電離和收集器有無機械損傷，油污附著程度以及極板有無變形。
3)檢查電離絲有無機械損傷、變形以及被油污包裹的情況。
4)檢查電柜門、側板、風口、后蓋等與罩殼連接處的密封是否良好。
5)檢查各電器元件是否正常。
6)檢查高低壓及放電端子有無污漬及損壞。
注意:電離極板電壓很高，上述檢查均需在機床油霧凈化器斷電1min，讓極板放電結束后才可進行。
2.工業油霧凈化器的清洗
機床油霧凈化器使用一段時問后，電離和收集器組件及前、后置過濾網上會附著一些油污及污漬，需要對其進行清洗。當產品面板上的清洗燈亮時，說明必須要停機清洗了(產品上粘貼的注意事項的標簽也有明確說明)。清洗時常使用一般規格的超聲波清洗機，雖然也能去除油性污垢，但不徹底，并且清洗過的地方會造成二次污染，并且不方便。為解決此問題，設計一款專用超聲波清洗機，該機由超聲波發生器、清洗槽、過濾槽、濾清器、水泵組成。
3.工業油霧凈化器的清洗方法
電離和機床油霧凈化收集器組件的清洗。將專用鋁合金清洗劑<PRIME5003，天津普羅米化工有限公司生產配成的水溶液，加注到超聲波清洗機內，水量加到清洗槽、過濾槽深度的2/3處。開啟超聲波清洗機電源加熱，清洗液加熱至50-600C；將電離和收集器組件放入清洗槽中，液面沒過組件，然后開啟超聲波發生器進行清洗，清洗時問一般>30min。